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真空泵維修渦旋式水環真空泵現狀和發展

日期:2018-9-4 17:15:23 人氣:

真空泵維護渦旋水環真空泵的現狀與發展

渦旋水環真空泵的研究始於20世紀80年代後期aaaaa。 1988年aaa,日本東京大學的MorishitaE開發出一種立式自轉換油潤滑渦旋水環真空泵aaaa,抽速爲200升/分鐘aaa。與公共改造的渦旋真空泵相比aaa,泵的徑向間隙易於密封和控制aaaaa。優點aaaa。渦旋泵具有比旋轉葉片泵更高的容積效率aaaaa,並且泵中的振動和噪音水平降低aaaa。此外aaa,由於其結構緊湊aaaaa,整機的重量和體積分別減少了12%和40%aaaa。 MorishitaE的研究表明了渦旋真空泵的效率aaa,並提出了一種有效的方法來消除間隙容積和控制間隙aaaa。隨着渦旋真空泵在半導體工業中的應用越來越多aaaa,人們開始研究乾式渦旋真空泵aaaa。乾式渦旋真空泵和油潤滑渦旋式真空泵之間的區別在於泵室不含任何油或液體aaaaa。因此aaaaa,解決泵內密封和冷卻問題是乾式真空泵研究的關鍵aaaaa。 1990年aaa,KushiroT開發了一種水平乾式渦旋真空泵aaaa,抽速爲600升/分鐘aaaaa。 TR 泵可達到的最終壓力爲5 x 10-3Taaaa。它採用水冷方法解決泵內各種部件的潤滑和冷卻等問題aaaa。 KushiroT的研究表明了乾式渦旋真空泵的可行性aaaaa,並有效地解決了動態和靜態盤的熱變形以及由離心力引起的移動盤振動引起的相互接觸的問題aaaa。儘管通過水冷方法可以有效地解決乾式渦旋真空泵的冷卻問題aaaa,但是冷卻水迴路的佈置使得結構更加複雜aaaaa。盤採用雙面渦旋結構aaa。主軸設有兩個冷卻風扇aaa,分別位於兩個靜止盤的兩端aaaaa。當主軸旋轉時aaaaa,風扇一起旋轉以實現渦旋的冷卻效果aaaa。同時aaaaa,它採用半封閉結構來解決電機的冷卻問題aaa。 2001年aaa,中國東北大學與中國科學院沉陽科學儀器研發中心聯合研製了這種類型的乾式渦旋真空泵aaaa,並於2003年初通過了國家真空設備質量檢測中心的鑑定aaa。此外aaaa,BOC還推出了採用風冷冷卻的乾式渦旋真空泵aaa。該泵具有全封閉結構aaa,帶有單面渦旋結構和安裝在靜止板末端的冷卻風扇aaa。

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