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真空泵機組應用領域

日期:2018-9-6 17:39:06 人氣:

真空泵機組應用領域

渦旋真空泵單元已廣泛應用於許多領域:①:半導體工業中的薄膜製造設備aaaaa,半導體器件封裝設備; ②科學設備:同步輻射光機aaaaa,電子顯微鏡aaaaa,真空泵單元極光測試設備aaa,分析儀器; ③製備設備機械設備行業:材料aaaaa,真空檢測設備aaaaa,淨化設備材料aaaa,真空過濾裝置超高真空設備; ④醫療器械行業:牙科器械aaaa,一臺透析機;製藥和生物製品行業的純化和製備:材料; ⑤:食品包裝行業aaaaa,藥品aaaaa,生物製品等包裝設備; ⑥真空冶金行業:真空爐aaaaa,納米材料製備設備aaa,真空檢測設備aaa。渦流泵是獲得無油真空系統作爲分子泵和小型低溫泵的前級泵的最佳配置aaa。其主要運動部件只有一個動渦旋aaaaa,因此動力傳遞簡單aaa,在相同尺寸下移動半徑小aaaaa,零件小aaaa,結構簡單緊湊aaaa,整機尺寸小aaaaa,介於兩者之間移動和靜止渦旋aaaa,移動板和泵腔室之間的間隙很小aaaa,泵中的運動部件與泵腔沒有摩擦aaaa,因此幾乎沒有磨損aaaaa,運行穩定aaa,功耗低aaa,氣流小損耗小aaaaa,工作可靠性高aaaaa,使用壽命長aaa,易於維護aaa,維護成本低aaa,容積效率高aaa。高aaaa。風冷aaa,無需水冷aaaa。 TR 渦旋真空泵在很寬的壓力範圍內具有高壓縮比和穩定的抽速aaaa。由於壓縮室的容積變化是連續的aaaa,因此驅動轉矩變化小aaa,功率變化小aaaaa,振動噪聲低aaa。不提供乾式真空泵的類型aaaa。爲了達到渦旋泵有效運行的目的aaaa,必須在每個真空室中牢固地齧合渦旋線aaaaa,以避免由於真空室之間的大的壓力差aaaaa,熱變形和部件而導致的渦旋壁力的惡化aaaaa。排氣室的aaaa。高壓氣體保留和降低真空泵效率aaaaa。因此aaa,必須確保渦旋輪廓之間的精確容納和齧合aaaaa,以控制工作介質的泄漏aaaa,並實現泵送的目的aaa。這是渦旋泵結構設計的重要基礎aaaa。在泵送氣流路徑中aaaa,不需要使用任何油和密封液體作爲介質aaa,並且可移動和靜止渦旋件相對旋轉以形成吸入腔室和壓縮腔室以被泵送氣體排出aaa,並且吸入aaaa,壓縮和排氣過程不斷完成aaaa。 aaa。因此aaaaa,如何防止泄漏解決密封問題尤爲重要aaaaa。渦旋泵的密封件主要包括軸向齧合間隙的徑向密封和徑向齧合間隙的切向密封aaaa,即齒側密封aaa。

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